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威尔WALE WaleSurf10系列 高精度形貌测量仪

Walesurf10卓越的抗震系统、高精度测量构件以及非凡的稳定性表现,成为了众多领域中的理想测量设备。它能够以高精度、高稳定性完成各项测量任务,为用户提供准确可靠的测量结果,是性能优越的典范之作。
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WaleSurf10系列 高精度形貌测量仪


稳定,是一切测量的核心


对于任何测量设备而言,测量是否稳定无疑是评价其性能优劣的核心项目之一。一台性能卓越的测量设备,必须能够在各种复杂环境下保持高精度和一致性,从而为用户提供值得信赖的测量结果。


Walesurf10卓越的抗震系统、高精度测量构件以及非凡的稳定性表现,成为了众多领域中的理想测量设备。它能够以高精度、高稳定性完成各项测量任务,为用户提供准确可靠的测量结果,是性能优越的典范之作。





WaleSurf10系列 高精度形貌测量仪


稳定,是一切测量的核心


对于任何测量设备而言,测量是否稳定无疑是评价其性能优劣的核心项目之一。一台性能卓越的测量设备,必须能够在各种复杂环境下保持高精度和一致性,从而为用户提供值得信赖的测量结果。


Walesurf10卓越的抗震系统、高精度测量构件以及非凡的稳定性表现,成为了众多领域中的理想测量设备。它能够以高精度、高稳定性完成各项测量任务,为用户提供准确可靠的测量结果,是性能优越的典范之作。




WaleSurf10系列 高精度形貌测量仪 技术参数
项 目WaleSurf-10WaleSurf-10 plus
测量范围X轴120-150mm120-220mm
X轴分辨率1.2nm1nm
Z轴320-620mm320-620mm
轮廓传感器Z1轴量程20mm20mm
Z1分辨率1.2nm1nm
轮廓精度Z1线性精度≤±(0.3+|0.02H|)μm≤±(0.2+|0.015H|)μm
圆弧±(0.8+R/12)μm±(0.5+R/12)μm
圆弧Pt≤0.3μm≤0.2μm
角度±1'±1'
直线度0.2μm/100mm(截止波长0.8)0.1μm/100mm(截止波长0.8)
粗糙度精度指示精度≤±(5nm+2%)≤±(3nm+1.8%)
残值噪声≤0.005μm≤0.002μm
重复性1δ≤1nm1δ≤0.8nm
截止波长0.025、0.08、0.25、0.8、2.5、8mm0.025、0.08、0.25、0.8、2.5、8mm
评定长度λC×2、3、4、5、6、7λC×2、3、4、5、6、7
驱动速度X轴驱动方式电动电动
Y轴驱动方式电动电动
X轴驱动速度0.1-20mm/s0.1-20mm/s
Z轴驱动速度0.5-50mm/s0.5-50mm/s


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